Silicon Carbide|SiC Coating

Silicon Carbide

SiC Coating

제품정보Silicon CarbideSiC Coating

하나 머티리얼즈의 실리콘 카바이드 제품을 소개합니다.

기술과 미래가 성장하는 하나 머티리얼즈
실리콘 카바이드 분야의 고객가치 경영을
추구해나가겠습니다.
SiC Coating
Description
  • Substrate : graphite
  • High thermal purification
  • CVD coating
  • CVR+CVD coating
Applications
  • LED MOCVD Susceptor - 2, 4, 6” available
  • H/Z parts for CZ growing
Specification
Properties Value
Purity (%) ≥ 99.9999
Density (g/cm3) 3.20
shore hardness 52
Thermal Expansion coefficient (10-6/K) 4.5
Thermal Conductivity (W/mK) 214
Coating Thickness (um) 20-250 ± 10%