하나 머티리얼즈의 실리콘 카바이드 제품을 소개합니다.
기술과 미래가 성장하는 하나 머티리얼즈
실리콘 카바이드 분야의 고객가치 경영을
추구해나가겠습니다.
SiC Coating
Description |
- Substrate : graphite
- High thermal purification
- CVD coating
- CVR+CVD coating
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Applications |
- LED MOCVD Susceptor - 2, 4, 6” available
- H/Z parts for CZ growing
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Specification |
Properties |
Value |
Purity (%) |
≥ 99.9999 |
Density (g/cm3) |
3.20 |
shore hardness |
52 |
Thermal Expansion coefficient (10-6/K) |
4.5 |
Thermal Conductivity (W/mK) |
214 |
Coating Thickness (um) |
20-250 ± 10% |
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