Fine Ceramics|AIN

Fine Ceramics

AIN(Aluminum Nitride)

제품정보Fine CeramicsAIN

하나 머티리얼즈의 파인 세라믹스 제품을 소개합니다.

기술과 미래가 성장하는 하나 머티리얼즈
파인 세라믹스 분야의 고객가치 경영을
추구해나가겠습니다.
Aluminum Nitride
Description
  • AlN is non-oxide ceramic, has high thermal conductivity similar to metal.
  • Insulator, Low CTE (coefficient of thermal expansion), high corrosion resistance
Applications
  • Dry etcher and CVD for semiconductor process
  • LED substrate & heat sink
Specification
Properties Value
Density (g/cm³) 3.3
Flexural strength (MPa) 310
Vickers hardness (GPa) 10.4
Thermal Conductivity (W/mK, @20℃) 170
Dielectric Strength (V/m) 14 X 106